戈壁滩研究所的扣人风波,最终在罗锦松那封措辞急切的加密电报面前偃旗息鼓。
杨术旺和路瑶的归期终于被提上日程,安排在了三天后。
然而,这短短三天,对远在滦州县,正处于崩溃边缘的红星电子厂而言,却显得无比漫长。
设备安装现场一片狼藉。
来自苏联的二手光刻机,以及基于杨术旺图纸、由国内几家顶尖机械厂合力攻关制造出来的离子注入机、薄膜沉积设备等,如同一个个沉默的钢铁巨兽,瘫倒在尚未完全竣工的厂房里。
它们的周围,散落着各种工具、图纸和废弃的零件。
以徐继顺为首的技术团队,以及几位被高价请来的几位某军区研究院专家,个个愁容满面,眼窝深陷。
他们已经不眠不休地奋战了多日,尝试了无数种方法,但是核心的光刻机镜头组对准系统、工作台平整度与定位精度,始终无法达到设计要求的微米级别。
每一次尝试曝光测试硅片,得到的都是模糊、错位甚至一片空白的失败结果。巨大的挫败感和压力笼罩在每个人心头。
罗锦松几乎每天都要到厂里来,看着停滞不前的进度,脸色一天比一天阴沉。
杨术旺在不回来,真的要有人动用遗留的苏联专家了。
“不能再等了!”
杨术旺在得知详细情况后,斩钉截铁地对研究所的领导说道:“我必须立刻进行远程指导!”
“否则等我回去,黄花菜都凉了!”
研究所方面也意识到了问题的严重性,破例批准杨术旺使用最高保密等级的通讯线路,与滦州县建立直接联系。
第一次加密电话接通,听筒里传来了徐继顺沙哑而疲惫,甚至带着一丝绝望的声音,道:“杨工!你可算有消息了!”
“这光刻机……”
“我们实在是没办法了!”
“按照图纸装的,可这精度……”
“差得太远了!”
杨术旺的声音冷静而沉稳,仿佛带着一种能安定人心的力量,道:“老徐,别慌,慢慢说,把你们遇到的问题,特别是测试得到的数据,详细告诉我。”
他坐在保密通讯室内,面前铺开了厚厚的稿纸,手边放着绘图工具。
徐继顺如同抓住了救命稻草,语速极快地将遇到的难题一一道来。
镜头组六个自由度的微调机构响应不线性、工作台在移动过程中存在微小的俯仰和偏摆、激光干涉计的读数不稳定……
杨术旺一边听,一边飞速地在稿纸上记录、演算。
他的大脑在【工业加工作坊空间】的辅助下高速运转,将徐继顺描述的现象,与设备的设计原理、可能存在的装配应力、微小的加工误差以及环境振动等因素相互关联。
“问题很可能出在三个方面。”
杨术旺打断了徐继顺的诉苦,语气笃定,道:“第一,主基座的水平没有调到绝对基准,存在微弧度级别的扭曲,这影响了所有上层结构的基准。”
“第二,镜头组的几个压电陶瓷微动器,其控制电压与位移量的标定曲线不准确,需要重新现场标定。”
“第三,工作台导轨的润滑可能存在轻微的不均匀,导致低速爬行现象。”
电话那头的徐继顺和周围的技术人员都愣住了。
他们折腾了这么多天,模糊感觉到的问题,被杨术旺隔着千里之外,几句话就精准地概括了出来!
“现在,你们按照我说的步骤做。”
杨术旺开始口述指令,语速平缓而清晰,道:“第一步,找到设备基础底板上的六个主要调平螺钉和三个辅助支撑点。”
“用我上次留给你们的那个高精度电子水平仪,重新调平。”
“注意,不是看气泡,是读电子显示数值,目标是将X、Y两个方向的倾角都控制在正负0.5角秒以内……”
他详细描述了调平的顺序、力度把握以及如何相互校验。
徐继顺一边听,一边大声复述给旁边的操作人员,现场立刻动了起来。
“第二步,关于镜头组的标定。我需要你们现场测量几个关键参数……”
杨术旺开始口述一系列复杂的测量点和计算方法。
这些方法涉及光学和精密机械的深层次原理,很多都是徐继顺他们闻所未闻的。他们只能硬着头皮记录,然后严格按照指示操作。
口述完复杂的校准步骤后,杨术旺顿了顿,道:“光靠说,有些精细结构可能还是难以理解。”
“我会通过加密通道传真,给你们发送几张关键的校准示意图和工装夹具的简图。”
“你们找厂里最好的钳工,立刻按图加工出来。”
说完,他放下电话,拿起绘图笔,在稿纸上飞快地勾勒起来。
他没有依靠空间直接生成,而是凭借着自己对设备结构的深刻理解和空间辅助计算出的数据,手工绘制。
线条精准,标注清晰,将镜头组内部复杂的微调机构、标定基准的位置以及临时工装的构造,表现得一目了然。
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