一个月后，中微与南大光电联合实验室正式揭牌。这是星城半导体创新中心成立后的第一个重大项目，李一凡特意参加了揭牌仪式。
“这个实验室的使命很明确。”李一凡在讲话中说，“就是要通过光刻机和光刻胶的良好创新，在28nm制程上实现技术突破。这不仅关系到企业的发展，更关系到整个产业链的自主可控。”
威廉姆斯博士和王立新作为联合实验室的双主任，详细介绍了目前的研发进展。
“光学系统已经完成初步设计。”威廉姆斯调出了一组数据，“在分辨率、精度等关键指标上都达到了28nm制程的基本要求。现在的难点是稳定性，这需要配合光刻胶的特性进行优化。”
“我们也取得了重要进展。”王立新说，“最新研发的光刻胶在几个关键指标上都突破了：感光度提升了30%，线宽均匀性控制在2nm以内，这些都是达到28nm制程要求的基础。”
领导陈启明问道：“两个团队怎么配合？”
“我们采用双组长制。”威廉姆斯解释说，“每一个课题都由光刻机和光刻胶团队的专家共同负责。比如在光学系统优化时，光刻胶团队就提供了很多关键参数，帮助我们调整光路设计。”
“反过来也是。”王立新补充道，“光刻机团队的光强分配数据，指导我们优化光刻胶配方。这种良好的创新模式效果很好。”
李一凡对这种合作方式很满意。他清楚地记得以前世界上很多企业各自为战，导致技术创新效率低下。现在有了省里500亿的支持，正好可以推动产业和谐。
“人才团队组建得怎么样？”他问道。
“目前联合实验室有120人。”威廉姆斯说，“其中博士32人，包括5位海归专家。但在某些关键岗位还存在缺口，比如光学系统设计、材料界面控制等领域的高端人才。”
市委组织部长何国庆立即表态：“人才引进要特事特办。对急需的专家，可以启动‘一事一议’。待遇政策对比，关键是解决他们的后顾之忧。”
“已经在行动了。”市人社局局长杨国强说，“我们在硅谷、东京等地设立了招才引智工作站。目前正在和几位顶尖专家接洽，其中包括三名日本光刻机领域的资深工程师。”
“人才建设也要跟上。”市住建局局长汇报，“专家公寓一期工程年底交付，可提供200套高品质保障。国际学校持续加紧建设，明年秋季能如期开学。”
这个时候中微公司的技术团队传来了一个好消息：光学系统的核心部件已经加工，性能测试达到预期。这意味着28nm光刻机的工程样机有望提前完成。
“具体什么时候能出工程机？”李一凡问道。
“按照目前的进度，明年一季度末就能完成。”威廉姆斯说，“比原计划提前了三个月。这主要得益于光刻胶团队的配合，他们提供的测试数据帮助我们节省了大量调试时间。”
“工程机提前完成是个好消息，”王立新说，“我们的光刻胶轮转速也加快了。目前对28nm制程的光刻胶已经进行了第三次优化，核心指标非常稳定。”
“详细讲述优化的结果。”李一凡对这些技术细节很感兴趣。
“最大的突破在三个方面。”王立新打开实验数据，“首先是感光性能，能量曝光降低了25%，这对提升光刻机的工作效率很关键。其次是均衡性，偏差控制在1.8nm以内，最后这直接影响良率。是储存稳定性，在常温下可以保存3个月不变质。”
“储存性能很重要。”威廉姆斯点头说道，“这意味着我们的产品可以批量供应给客户，而不必担心运输和存储问题。在日本企业的光刻胶中，能达到这个水平的也不少。”
市科技局局长刘青松问道：“这些技术有自主知识产权吗？”
“当然。”王立新说，“我们已经申请了12项核心专利，其中4项是和中微的联合专利。这些专利完全覆盖了28nm制程中的关键技术点。”
李一凡对这种合作模式很满意：“这就是我们想要的和谐创新。不是简单的下游满足，而是在核心技术上形成合力。省里给我们500亿投资，就是要支持这样的创新模式。”
正说完成时，南大光电的中试车间传来消息：第一批批量产型光刻胶样品制备，各项指标全部达标。这批样品将用于中微光刻机的工程验证。
“产能建设也要提速了。”王立新说，“我们产业园的一期工程明年3月就能完成。设计产能是月产5吨，完全能满足前期的市场需求。”
“上游材料供应有保障吗？”市经信局局长张志强询问。
“这是我要汇报的。”王立新说，“我们已经和几家本土的材料企业达成了合作。电子级偶联剂、光敏剂、偶联液等关键原材料全部自主供应。这对保证产业链安全很重要。”
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